制御系製品

基準圧力発生器
Standard Pressure Generator

S630シリーズ

正圧負圧制御用高精度型
基準圧力発生器:S630シリーズ
  • 供給圧力(一次圧力)を減圧し、出力圧力(二次圧力)を一定に制御します。S630シリーズには超精密圧力制御に必要な全ての機能が内蔵されており、圧力範囲や精度など、用途に最適な内容を選択することができます。
  • ローカル設定を行う為の5桁押しボタンスイッチ、アナログリモート設定入力、設定値と実圧力を表示する5桁LED表示など、圧力源と電源とを接続するだけで高精度な圧力制御が実現できます。
標準仕様
モデルナンバS6312S6313
設定圧力 最小スパン0~5kPa・最大スパン0~2.5MPa
入力信号*2 0~5V(0~10V/4~20mA/その他、ご指定ください)
通信機能 オプション(RS232C)
供給圧力 最大出力+0.05MPa
供給電源 24VDC
接続口径 1/4 3/8
出力流量 0~200LPM以上 0~1000LPM以上
使用流体 空気
センサ 圧力センサ内蔵
入力インピーダンス 10kΩ以上(電圧入力)/300Ω以下(電流入力)
取付方向 任意(取付方向によるドリフトの発生はありません)
制御方式 力平衡+PI制御
消費流量 1.5LPM以下(標準型)~5LPM以下(高速型)
重量 2.2kg
絶縁抵抗 1MΩ以上
ヒステリシス ±0.00%以下
リニアリティ アナログ入力=±0.3~0.05%以下
ローカル設定=±0.3~0.05%以下
オリフィス径 4mmΦ(1/4)又は11mmΦ(3/8)
応答速度 0.1~0.3SEC(無負荷時特性)
バルブ材質 ボディ=ADC12/ダイアフラム=NBR/シール=NBR
注記
*1
任意に選択可能、出荷仕様の詳細は別紙確定仕様書によります。
*2
併用する圧力センサの精度によります。

*詳細寸法図、特性データなどはお問い合わせください。

オプション

*オプション仕様の詳細はお問い合わせください。


基準圧力発生器:S630シリーズ